生產(chǎn)半導(dǎo)體會產(chǎn)生有害氣體嗎？答案是肯定的，半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)半導(dǎo)體的過程中是會使用一些化學(xué)品的，由于揮發(fā)、滲漏、密封不嚴、設(shè)備振動等情況存在，不可避免的會有有毒有害氣體產(chǎn)生，為了現(xiàn)場作業(yè)人員的安全和職業(yè)健康，需要在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的抽風(fēng)口及存在有毒有害氣體的設(shè)備及管道附近安裝使用半導(dǎo)體有毒有害氣體檢測儀，以免半導(dǎo)體車間環(huán)境中有害氣體濃度過高危及人身安全。 半導(dǎo)體工廠蝕刻和清洗晶圓會產(chǎn)生大量酸性氣體。此外，由于半導(dǎo)體制造中使用大量的光刻膠溶液和顯影液，這些溶液主要是有機物質(zhì)，所以產(chǎn)生大量的有機溶劑，包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳F2等。將用于蝕刻、清洗和薄膜生長。

半導(dǎo)體制造工業(yè)中使用的特殊氣體一般是根據(jù)它們的使用特性，如NH3、氨和O2等。用于沉積過程；H2氫常用于光刻等。；常用的氯化氫有HCL、Cl2氯氣、F2氟氣等。蝕刻期間；氧氣、H2、氫氣等。常用于熱處理；常用的鹵化物有氯化氫HCI、氯氣Cl2、氟化氫HF、溴化氫HBr、氧氣O2等。用于腔室清洗，離子注入法注入PH 3磷化氫和AsH3胂等。作為磷源和砷源。

半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用或產(chǎn)生的氣體可分為五類：可燃氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體和氧化性氣體。
1、可燃氣體
可燃氣體一般指能自燃的可燃氣體。當(dāng)環(huán)境溫度達到一定程度時，PH3等氣體會自燃。可燃氣體有一定的著火、燃燒和爆炸范圍，即上限和下限。范圍越大，爆炸和燃燒的危險性越高。可燃氣體有H2、NH3、PH3等。
2、有毒氣體
有毒氣體是指半導(dǎo)體制造業(yè)使用的許多氣體對人體有害有毒。PH3、NH3、HCL、CL2、AsH3、CO等氣體的允許濃度。在工作環(huán)境中非常小，因此在儲存、運輸和使用過程中需要特別小心。一般來說，應(yīng)該采取具體的技術(shù)措施來控制這些氣體的使用；
3、腐蝕性氣體
腐蝕性氣體通常具有很強的毒性。腐蝕性氣體一般在干燥狀態(tài)下不易腐蝕金屬，但在水環(huán)境中表現(xiàn)出強烈的腐蝕性，如HCl、HF等。
4、惰性氣體
隋氣本身一般不會直接危害人體。在氣體輸送的過程中，安全要求不像以下其他氣體那樣嚴格。惰性氣體具有窒息特性，在開放空間內(nèi)少量泄漏不會使人窒息而引發(fā)工傷事故；
5、氧化性氣體
氧化性氣體具有強氧化性，一般還具有其他特性，如毒性或腐蝕性。屬于這一類別的氣體包括ClF3、Cl2、NF3等。

有鑒于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的有害氣體的危害性，除了需要在半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠配置正負壓測漏的氣體輸送管路和排氣抽風(fēng)系統(tǒng)之外，還應(yīng)在現(xiàn)場安裝使用氣體泄漏濃度檢測報警儀器。以采用進口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51S6固定在線式六合一氣體檢測報警儀為例，可以同時檢測并顯示氨氣NH3、一氧化碳CO、氧氣O2、氯氣CL2、氯化氫HCL、磷化氫PH3、氫氣H2等氣體的濃度值，超標聲光報警，并聯(lián)鎖自動控制排氣風(fēng)機的啟停，測量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過分線制4-20 mA模擬信號量或總線制RS 485（Modbus RTU）數(shù)字量信號以及無線模式傳輸，通過ERUN-PG36E氣體報警控制器在值班室實時顯示有害氣體的濃度值，并相應(yīng)的觸發(fā)報警動作。 半導(dǎo)體車間氣體檢測報警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號：ERUN-PG51S6
檢測氣體：氨氣NH3、一氧化碳CO、氧氣O2、氯氣CL2、氯化氫HCL、磷化氫PH3、氫氣H2等
量程范圍：0～1、10、100、1000、5000、50000ppm、100%LEL、20%、50%、100%Vol可選，其他量程可訂制
分 辨 率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）； 0.1%LEL；0.01%、0.001%Vol
方法原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外、半導(dǎo)體、PID光離子等可選
精度誤差：≤±2%F.S.（更高精度可訂制）
顯示方式：報警器2.5寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值；控制器主機9寸彩屏值班室顯示濃度值
報警方式：現(xiàn)場聲光報警，值班室聲光報警
數(shù)據(jù)傳輸：4-20mA、RS485，可選無線傳輸
防護功能：IP66級防水防塵
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
 
以上就是關(guān)于生產(chǎn)半導(dǎo)體會產(chǎn)生有害氣體嗎的相關(guān)介紹，在半導(dǎo)體車間所產(chǎn)生的有害氣體其實主要來自于生產(chǎn)工藝過程中所使用的化學(xué)品，在其發(fā)生揮發(fā)、滲漏甚至泄漏時，就會在半導(dǎo)體車間內(nèi)積聚大量的有害氣體，如一氧化碳CO、氯氣CL2、磷化氫PH3、氫氣H2、氨氣NH3、氯化氫HCL等，而將半導(dǎo)體有毒有害氣體檢測儀安裝在有可能會發(fā)生泄漏的設(shè)備或管道附近，就能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測半導(dǎo)體車間空氣中的有害氣體的濃度值了，對于半導(dǎo)體工藝的安全高效生產(chǎn)也具有預(yù)防和積極促進作用。